[发明专利]偏振分光薄膜消光比的精确测量装置无效
申请号: | 200510027005.4 | 申请日: | 2005-06-22 |
公开(公告)号: | CN1710405A | 公开(公告)日: | 2005-12-21 |
发明(设计)人: | 傅小勇;易葵;朱美萍;王丹;毕军;申雁鸣;邵建达;范正修 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01N21/23 | 分类号: | G01N21/23;G01N21/01 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种偏振分光薄膜消光比的精确测量装置,包括光源,其特征在于沿该光源发出光束的前进方向依次是第一偏振分光镜和第二偏振分光镜形成的组合式起偏器、反射镜、分束镜,所述光束经该分束镜分束后,其透射光束经待测样品进入第一能量计,其反射光束由第二能量计接收,所述的第一能量计和第二能量计的输出端与计算机的输入口相连,该计算机处理来自第一能量计和第二能量的数据,显示或打印测试样品的透射率、反射率以及消光比,所示的待测样品放置在第四旋转平台上。本发明装置具有结构简单、使用方便、可靠性高、测量精度高和成本低的特点。 | ||
搜索关键词: | 偏振 分光 薄膜 精确 测量 装置 | ||
【主权项】:
1、一种偏振分光薄膜消光比的精确测量装置,包括光源(1),其特征在于沿光源(1)发出光束的前进方向依次是由第一偏振分光镜(2-1)和第二偏振分光镜(2-2)形成的组合式起偏器、反射镜(3)、分束镜(4),所述光束经该分束镜(4)分束后,其透射光束经待测样品(5-1)进入第一能量计(6),其反射光束由第二能量计(7)接收,所述的第一能量计(6)和第二能量计(7)的输出端与计算机(8)的输入口相连,所述的待测样品(5-1)放置在第四旋转平台(5-2)上。
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