[发明专利]除去电子显微镜检测样品表面的聚酰亚胺膜用的工具有效

专利信息
申请号: 200510027170.X 申请日: 2005-06-21
公开(公告)号: CN1885517A 公开(公告)日: 2006-12-27
发明(设计)人: 周晶;赵燕丽;蒋青云;王燕君 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;G01N1/28
代理公司: 上海新高专利商标代理有限公司 代理人: 刘名华;楼仙英
地址: 201203*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 除去电子显微镜检测样品表面的聚酰亚胺膜用的工具,工具包括:底座I、导轨II、刀架III和刀片IV;底座I的上表面A的中心设置凹槽1,待除去表面上的聚酰亚胺保护膜的样品2放在凹槽1中,凹槽1的底表面与样品2之间放有分散样品2受力的缓冲材料层3;导轨II设置在底座I的两侧与底座I垂直,导轨II中设置有滑动槽4;刀片IV固定在刀架III上;刀架III上的导向销与导轨II中的滑动槽4匹配,导向销在滑动槽4中往复移动,由此制导刀架III在底座I中的样品2表面上的聚酰亚胺保护膜上往复移动,由此刮削样品2表面上的聚酰亚胺保护膜。
搜索关键词: 除去 电子显微镜 检测 样品 表面 聚酰亚胺 工具
【主权项】:
1、除去电子显微镜检测样品表面的聚酰亚胺膜用的工具,其特征是,工具包括:底座(I)、导轨(II)、刀架(III)和刀片(IV);底座(I)上表面(A)的中心设置凹槽(1),要除去表面上的聚酰亚胺保护膜的样品(2)放在凹槽(1)中,凹槽(1)的底表面与样品(2)之间放有缓冲材料层(3);导轨(II)设置在底座(I)的两侧与底座(I)垂直,导轨(II)中设置有滑动槽(4);刀片(IV)固定在刀架(III)上;刀架(III)上的导向销与导轨(II)中的滑动槽(4)匹配,导向销在滑动槽(4)中往复移动,由此制导刀架(III)在底座(I)中的样品(2)表面上的聚酰亚胺保护膜上往复移动,由此刮削样品(2)表面上的聚酰亚胺保护膜。
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