[发明专利]软磁吸悬高速旋转刚体微陀螺

摘要

一种微机电系统领域的软磁吸悬高速旋转刚体微陀螺，包括：上定子结构层、高磁导率软磁转子、下定子结构层。上定子结构层中，轴向吸悬电磁铁对和轴向吸悬电感检测元件布置在上定子基板的表面的同一圆周上，线圈和带凸极的高磁导材料结构设置在上定子基板的表面上；下定子结构层中，在下定子基板设置径向吸悬电磁铁对，在每个径向吸悬电磁铁对之间设置径向吸悬电感检测元件，径向吸悬电磁铁对和径向吸悬电感检测元件设置在一个圆周上，在此圆周内侧，设置轴向吸悬组件，线圈和带凸极的高磁导材料结构设置在下定子基板的中心区域上，线圈设置在带凸极的高磁导材料结构上。本发明特别适合多层微细加工工艺，具有尺寸小，功耗小，实现容易的特点。

主权项

1、一种软磁吸悬高速旋转刚体微陀螺，包括：上定子结构层(1)、高磁导率软磁转子(2)、下定子结构层(3)，上定子结构层(1)和下定子结构层(3)连接在一起，形成一个空腔，高磁导率转子(2)设置在此空腔内，其特征在于，上定子结构层(1)包括：轴向吸悬电磁铁对(16、20、18、22)、轴向吸悬电感检测元件(17、21、19、23)、上定子基板(15)、线圈(24)、带凸极的高磁导材料结构(25)，轴向吸悬电磁铁对(16、20、18、22)和轴向吸悬电感检测元件(17、21、19、23)布置在上定子基板(15)的表面的同一圆周上，14个线圈(24)和带凸极的高磁导材料结构(25)设置在上定子基板(15)的表面上；下定子结构层(3)包括：下定子基板(4)、径向吸悬电磁铁对(5、7、9、11)、径向吸悬电感检测元件(6、8、10、12)、轴向吸悬组件(13)、带凸极的高磁导材料结构(14)、线圈(45)，在下定子基板(4)设置径向吸悬电磁铁对(7、9、5、11)，在每个径向吸悬电磁铁对之间设置径向吸悬电感检测元件(12、8、10、6)，径向吸悬电磁铁对(7、9、5、11)和径向吸悬电感检测元件(12、8、10、6)设置在一个圆周上，在此圆周内侧，设置轴向吸悬组件(13)，线圈(45)和带凸极的高磁导材料结构(14)设置在下定子基板(4)的中心区域上，14个线圈(45)设置在带凸极的高磁导材料结构(14)上。