[发明专利]一种机械手自动硅片取放系统及方法有效
| 申请号： | 200510027552.2 | 申请日： | 2005-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN1891591A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | 伍强 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;B65G47/90;B25J19/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种机械手自动硅片取放系统，其在机械手后端的两侧安装光发射器，机械手前端安装准直装置，硅片盒每个槽边都贴有识别标记，机械手上还设有光探测器阵列。本发明还公开了一种机械手自动硅片取放方法，光发射器将光通过准直装置射到识别标记上，并将识别内容反射到光探测器阵列上，当光探测器阵列探测到该识别内容与待取出硅片所在的槽的识别标记一致后，机械手将硅片取出或将硅片放入。本发明采用激光通过准直装置照射到识别标记的方式，对硅片盒的放置情况及机械手的变形情况进行监测，避免由于这些原因而造成的硅片的损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械手 自动 硅片 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种机械手自动硅片取放系统，包括硅片盒和机械手，其特征在于，在所述机械手承载硅片部分后端的两侧各安装有一个光发射器，所述机械手承载硅片部分前端的两侧各安装有一个与所述光发射器对应的准直装置，正常情况下光发射器所发出的光可通过准直装置；所述硅片盒每个槽边都贴有识别标记，不同槽边所贴的识别标记内容不同，硅片盒槽边识别标记的宽度与机械手两侧的两个光发射器投射光点之间的宽度相同；机械手支撑轨道上还设有正向面对所述识别标记的光探测器阵列。
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