[发明专利]高分辨数字干涉仪空间分辨率的标定方法无效
| 申请号： | 200510027683.0 | 申请日： | 2005-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN1710376A | 公开（公告）日： | 2005-12-21 |
| 发明（设计）人： | 陈建文;高鸿奕;李儒新;徐至展 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B9/021 | 分类号： | G01B9/021;G01N21/00;G03H1/04 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种高分辨数字干涉仪空间分辨率的标定方法，包括以下步骤：搭建一个马赫—陈德尔干涉仪，并用一CCD探测器拍摄一张带有载波条纹的干涉图样；在该马赫—陈德尔干涉仪的一臂中，插入一块精度为λ/10的位相样板，再拍摄一张被样板调制的载波条纹的干涉图样；将上述两张干涉图样输入到计算机中去，分别进行傅里叶变换，在频域中将零级波和负一级波或正一级波滤掉，然后对留下的正一级波或负一级波进行逆变换，取出干涉图样的位相信息，并将所取出的两个位相信息相减后进行放大；在从位相放大的干涉图中，取出比较平坦的局域部分，再进行位相差放大，即可完成数字干涉仪空间分辨率的标定。 | ||
| 搜索关键词： | 分辨 数字 干涉仪 空间 分辨率 标定 方法 | ||
【主权项】：
1、一种高分辨数字干涉仪空间分辨率的标定方法，其特征在于按以下步骤进行：1)在该马赫—陈德尔干涉仪上用一CCD探测器拍摄一张带有载波条纹的干涉图样；2)在该马赫—陈德尔干涉仪的一臂中，插入一块精度为λ/10的位相样板，再用CCD探测器拍摄一张被样板调制的载波条纹的干涉图样；3)将上述两张干涉图样输入到计算机中去，分别进行傅里叶变换，在频域中将傅立叶变换的零级波和负一级波或正一级波滤掉，然后对留下的正一级波或负一级波进行逆变换，取出干涉图样的位相信息；4)将所取出的干涉图样的两个位相信息相减后进行放大；5)从位相放大的干涉图中，取出比较平坦的局域部分再进行位相差放大，即可完成数字干涉仪空间分辨率的标定。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所，未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510027683.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
