[发明专利]确定半导体IC可靠性可比性的基于知识的统计方法和系统

摘要

一种用于在可靠性寿命测试中判断组1(一种产品、组件或系统)是否具有比组2更长寿命的方法。该方法无需假设分布的形式，并且其数据分析方法可应用于所有种类的数据和分布。该方法提供了比参数方法更准确的解决方案。在对双峰、早期失效和失效机制预先检查之后，本发明通过非参数方法采用具有良好精确度的数字方法；被测数据可以是经终检、区间或双峰的，并不局限于完全类型的简单情况。本发明可以用于确定所有类型和级别上的可靠性测试的多样性。本发明的方法基于可比性指标来执行确定，可比性指标是通过对被比较的两个组的可靠性函数之间的经加权的差异求积分而导出的。若干指标用于使可靠性可比性有效。其他指标用于使我们的发明更灵活。

主权项

1.一种用于制造集成电路器件的方法，该方法包括：提供第一组，所述第一组的特征在于至少第一设计和第一组工艺；提供第二组，所述第二组的特征在于至少第一设计和第一组工艺；至少标识与所述第一组相关联的第一可靠性特征，并且至少标识与所述第二组相关联的第二可靠性特征；确定所述第一组的第一可靠性函数R1(t)，第一可靠性密度函数与时间变量和所述第一可靠性特征相关联；确定所述第二组的第二可靠性函数R2(t)，第二可靠性密度函数与所述时间变量和所述第二可靠性特征相关联；确定与所述第一可靠性函数和所述第二可靠性函数相关联的失效概率密度函数；从初始时间段到无穷大时间段，从所述失效概率密度函数中计算所述第一组和所述第二组的失效概率f(t)；归一化所述第一组和所述第二组的失效概率；至少使用经归一化的所述第一组和所述第二组的失效概率来确定指标值；至少使用与所述第一组和所述第二组的失效概率相关联的指标来确定所述第一组的所述第一可靠性特征；以及至少使用与所述第一组和所述第二组的失效概率相关联的指标来确定所述第二组的所述第二可靠性特征。