[发明专利]基于声悬浮的圆盘微机械陀螺无效
| 申请号： | 200510028687.0 | 申请日： | 2005-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN1731089A | 公开（公告）日： | 2006-02-08 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;杨斌;陈迪 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/02 | 分类号： | G01C19/02;G01P9/02 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于声悬浮的圆盘微机械陀螺，属于微机电技术领域。本发明包括：八个电容极板、分区电极、压电板、基极、绝缘层、四个支撑柱和微转子，基极和分区电极设在压电板沿厚度方向的两面，绝缘层设在基极上，八个电容极板均匀设在绝缘层上，并在绝缘层上形成四个支撑柱，微转子设在四个支撑柱上。本发明采用一种声悬浮驱动机制，解决了磁场环境下的工作问题，而且简化了陀螺的结构，由于该种陀螺适宜于微细加工的方法来制造于实现，因而易于批量化和微型化。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 悬浮 圆盘 微机 陀螺 | ||
【主权项】：
1.一种基于声悬浮的圆盘微机械陀螺，包括：八个电容极板(1、2、3、4、5、6、7、8)、分区电极(9)、压电板(10)、基极(11)、绝缘层(12)、四个支撑柱(13、14、15、16)和微转子(17)，其特征在于，基极(11)和分区电极(9)设在压电板(10)沿厚度方向的两面，绝缘层(12)设在基极(11)上，八个电容极板(1、2、3、4、5、6、7、8)均匀设在绝缘层(12)上，并在绝缘层(12)上形成四个支撑柱(13、14、15、16)，微转子(17)设在四个支撑柱(13、14、15、16)上。
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