[发明专利]一种曝光掩模板的固定方法无效
| 申请号： | 200510029208.7 | 申请日： | 2005-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN1828423A | 公开（公告）日： | 2006-09-06 |
| 发明（设计）人： | 孙明 | 申请（专利权）人： | 上海海晶电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 201613上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种曝光掩模板的固定方法。其特点是，该方法步骤为：第一：玻璃板底部放置曝光掩模板，曝光掩模板通过四周的胶带与玻璃板紧密贴合；第二：在玻璃板的边缘处打一个小孔；第三：在小孔处装一根管子，并将管子和玻璃板密封连接；第四：再将管子的另一端与抽真空装置连接；第五：启动抽真空装置，玻璃板和曝光掩模板之间形成一个真空区域。采用管子一端与玻璃板密封连接，另一端与抽真空装置相连，在生产过程中，始终保持抽真空状态，即玻璃板和曝光掩模板之间为一个真空区域，即使由于曝光掩模板粘贴不平或发热变形，曝光掩模板也不会下垂，有效避免曝光图形变形而造成对产品质量的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 模板 固定 方法 | ||
【主权项】：
1.一种曝光掩模板的固定方法，其特征在于，该方法步骤为：第一：玻璃板(3)底部放置曝光掩模板(2)，曝光掩模板(2)通过四周的胶带(1)与玻璃板(3)紧密贴合；第二：在玻璃板(3)的边缘处打一个小孔；第三：在小孔处装一根管子(4)，并将管子(4)和玻璃板(3)密封连接；第四：再将管子的另一端与抽真空装置连接；第五：启动抽真空装置，玻璃板(3)和曝光掩模板(2)之间形成一个真空区域。
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