[发明专利]非对称驱动电极的非接触超声微马达无效
| 申请号： | 200510029306.0 | 申请日： | 2005-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN1738180A | 公开（公告）日： | 2006-02-22 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;杨斌;陈迪 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H02N2/10 | 分类号： | H02N2/10;H02N2/12 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种非对称驱动电极的非接触超声微马达，属于微机电技术领域。本发明包括：基底、压电陶瓷片、金属弹性体、微转子、转轴和四个驱动电极，转轴固定在基底上，压电陶瓷片粘贴在金属弹性体上，压电陶瓷片和转轴间隙配合，微转子设在转轴上，压电陶瓷片的一侧设有四个驱动电极，所述的四个驱动电极的扇区角度大小依次为36°、72°、108°和144°。本发明采用一种基于非对称电极的非接触式驱动微马达，突破了接触式超声微马达的寿命短、转速低的使用限制，大大地提高了马达性能，扩大了超声微马达的使用范围；而且该马达采用微细加工的方法制造与实现，易于生产批量化、微型化等优点，为超声波微马达的实际应用奠定了基础。 | ||
| 搜索关键词： | 对称 驱动 电极 接触 超声 马达 | ||
【主权项】：
1.一种非对称驱动电极的非接触超声微马达，包括：基底(1)、压电陶瓷片(2)、金属弹性体(3)、微转子(4)、转轴(5)和驱动电极(6、7、8、9)，其特征在于，转轴(5)固定在基底(1)上，压电陶瓷片(2)粘贴在金属弹性体(3)上，压电陶瓷片(2)和转轴(5)间隙配合，微转子(4)设在转轴(5)上，压电陶瓷片(2)的一侧设有驱动电极(6、7、8、9)，所述的驱动电极(6、7、8、9)的扇区角度大小依次为36°、72°、108°和144°。
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