[发明专利]具有多腔结构的窄带滤光片列阵

摘要

本发明公开了一种具有多腔结构的窄带滤光片列阵，它是利用多个F－P结构膜系来形成多腔，通过组合镀膜或组合刻蚀方法来形成谐振腔层列阵，以达到控制每个微型窄带滤光片的带通峰位，从而实现不同带通峰位窄带滤光片在同一块基片上集成的目的。这种结构适用于各个波段多腔窄带滤光片列阵。这种结构的优点是滤光片的带通矩形度好，易于多通带集成，可以更多地获取各光谱通带内的信号、同时更好地抑制掉通带外的噪声，大大提高信噪比，能够满足工程化和实用化需要。

主权项

1.一种具有多腔结构的窄带滤光片列阵，其特征在于：所说的多腔可以是：双腔、三腔或四腔，它们分别在各自的基片上通过真空镀膜方法生成下列膜系，膜系的具体结构如下：双腔为：H(LH)a-1wL(HL)aH(LH) a xL(HL)a-1H，三腔为：H(LH)a-1wL(HL) a H(LH)axL(HL)aH(LH)ayL(HL)a-1H，四腔为：H(LH)a-1wL(HL)aH(LH)axL(HL)aH(LH)ayL(HL)aH(LH)azL(HL)a-1H，其中wL、xL、yL、zL为谐振腔层，w＝x＝y＝z，H为高折射率膜层，L为低折射率膜层，a和a-1为高折射率膜层与低折射率膜层交替叠层次数，a≥2，膜层的光学厚度(nd)为λ0/4，λ0为设计初始窄带滤光片膜系时的中心波长；所说的谐振腔层wL、xL、yL、zL为厚度不同的列阵，其厚度值随w、x、y和z的取值变化，一般w、x、y和z的取值范围为1＜w＝x＝y＝z＜3或3＜w＝x＝y＝z＜5，相应单元的谐振腔层厚度完全相同。