[发明专利]一种随机响应信号测量与分析的方法无效
| 申请号： | 200510029686.8 | 申请日： | 2005-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN1740800A | 公开（公告）日： | 2006-03-01 |
| 发明（设计）人： | 蔡良斌;严天宏;张国韦;袁志扬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201203上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及随机响应系统的信号测量与分析技术，特别是一种随机响应信号测量与分析的方法。它在Matlab环境下基于Spectrum Dynamics公司的SigLab测试系统，进行二次开发的测试方法和系统，可以在线评判、生成结果报告，其流程包括：①首先提供一个数据录入界面，以录入测试设备的信息和该产品和操作中的指标曲线信息；②根据上述录入的信息，在图形显示区形成一指标曲线，并显示录入的信息；③将各测试点的信息录入并在图形显示区形成测量曲线；④将指标曲线和测量曲线上的相应数值进行分析比较，并在运行结果显示区显示。该方法主要解决现有的方法常需要进行离线的分析、计算，再来判断结果，以致于造成停车会严重地影响生产率和产能的技术问题，可以很大地提高操作的准确性和简便性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 随机 响应 信号 测量 分析 方法 | ||
【主权项】：
1、一种随机响应信号测量与分析的方法，其特征在于：该方法是在Matlab环境下基于Spectrum Dynamics公司的SigLab测试系统进行二次开发的测试方法，在线进行随机数据的评判，并生成结果报告，其流程包括：①首先提供一个数据录入界面，以录入测试设备的信息和该产品和操作中的指标曲线信息；②根据上述录入的信息，在图形显示区形成一指标曲线，并显示录入的信息；③将各测试点的信息录入并在图形显示区形成测量曲线；④将指标曲线和测量曲线上的相应数值进行分析比较，并在运行结果显示区显示。
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