[发明专利]一种集成电路封装后处理用去毛刺溶液有效

专利信息
申请号: 200510029815.3 申请日: 2005-09-20
公开(公告)号: CN1935939A 公开(公告)日: 2007-03-28
发明(设计)人: 孙江燕 申请(专利权)人: 上海新阳电子化学有限公司
主分类号: C09K13/00 分类号: C09K13/00;H01L21/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201803上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明开发了一种集成电路封装后处理用去毛刺溶液,是一种新型的有机溶剂弱腐蚀去毛刺方法。本发明采用有机碱类活化物,通过控制活化性能恰到好处地轻微弱腐蚀氧化层,使基体金属与溢料中间产生松动和微隙,易于用机械方法清除塑封溢料。本发明之去毛刺溶液具有不损伤基体、电性能可靠、操作简便、安全节能等优点,可以广泛地应用于各种半导体塑封后的去毛刺操作。这项去毛刺新技术具有非常广阔的市场应用前景,为微电子企业解决了去毛刺的难题,对促进我国微电子行业的发展起了积极的作用,也具有较高的经济效益。
搜索关键词: 一种 集成电路 封装 处理 毛刺 溶液
【主权项】:
1.一种集成电路封装后处理用去毛刺溶液,其特征是:采用下列配方(w%):乙二醇苯醚(C8H10O2) 35%二乙二醇二丁醚(C12H26O3) 20%己内酰胺(C6H11NO) 15%甘油(C3H8O3) 10%异佛尔酮(C9H14O) 20%。
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