[发明专利]N－型硅片上制造太阳能电池的方法

摘要

本发明提供用N－型硅片制造太阳能电池的方法，实质上是，在N－型硅晶片正面上丝网印刷铝浆料，通过干燥和焙烧所印刷的铝浆料，在N－型硅片正面上形成铝膜，在N－型硅片中引入三价的杂质铝，在N－型硅片正面上形成P⁺阱。N－型硅片正面与其上形成的P⁺阱之间形成PN结。然后用制造太阳能电池的传统工艺制造太阳能电池。

主权项

1、N-型硅晶片上制造太阳能电池的方法，包括以下步骤：步骤1，检测作为制造太阳能电池基材的直径为3、5、6、8英寸的N-型硅片；步骤2，清洗N-型硅片；步骤3，腐蚀N-型硅片，在N-型硅片的表面形成绒面结构；步骤4，清洗处理；步骤5，在带有绒面结构的N-型硅片的正面上用丝网印刷机印刷铝导电浆料；步骤6，低温干燥，去除导电铝浆料中的溶剂；步骤7，烧结处理，去除导电铝浆料中的分散剂等非金属组分，在N-型硅晶片正面形成铝膜，铝作为P-型杂质扩散到N-型硅晶片中，在N-型硅晶片正面上形成P+阱，N-型硅晶片与其正面上形成的P+-阱之间形成PN结；步骤8，清洁烧结后的N-型硅片；步骤9，检查P+-阱质量；步骤10，制成氮化硅抗反射涂层(ARC)，以减小反射；步骤11，检查ARC质量；步骤12，N-型硅片背面丝网印刷银导电浆料；步骤13，低温干燥，去除银导电浆料中的溶剂；步骤14，用目测和称重方法检查银导电浆料的印刷质量；步骤15，N-型硅晶片正面丝网印刷银-铝(Ag-Al)浆料；步骤16，低温干燥，去除银-铝导电浆料中的溶剂；步骤17，用目测加称重方法检查银-铝导电浆料的印刷质量；步骤18，N-型硅片背面上印刷的银导电浆料和N-型硅晶片正面上印刷的银-铝导电浆料共时烧结；和步骤19，测试所制成的太阳能电池，并进行效率分类。