[发明专利]具有安全挡板的晶舟盒导轨传动装置有效
| 申请号： | 200510030271.2 | 申请日： | 2005-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN1941313A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | 张银娟;郑文国 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;B65G1/02 |
| 代理公司： | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 楼仙英 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 具有安全挡板的晶舟盒导轨传动装置(R/M)，其特征是，安全挡板设置在晶片存储架整体结构(STK)朝向外部位置(OP)一侧的“H”形框架结构上，用安全挡板将原先的晶舟盒导轨传动装置(R/M)的完整空间分割成大小相等的多个小空间，形成网格结构，安全挡板固定于晶片存储架整体结构(STK)朝向外部位置(OP)一侧的“H”形框架结构上。安全挡板的形状是中间向外突出的折弯形，向外突出的中间部分与两个侧边部分之间的夹角分别是150度±1度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 安全 挡板 晶舟盒 导轨 传动 装置 | ||
【主权项】：
1、具有安全挡板的晶舟盒导轨传动装置(R/M)，其特征是，安全挡板设置在晶片存储架整体结构(STK)朝向外部位置(OP)一侧的“H”形框架结构上，用安全挡板将原先的晶舟盒导轨传动装置(R/M)的完整空间分割成大小相等的多个小空间，形成网格结构，安全挡板固定于晶片存储架整体结构(STK)朝向外部位置(OP)一侧的“H”形框架结构上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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