[发明专利]锡钛酸钡铁电薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 200510030500.0 | 申请日： | 2005-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN1947863A | 公开（公告）日： | 2007-04-18 |
| 发明（设计）人： | 翟继卫;宋三年 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | B05D5/12 | 分类号： | B05D5/12;B05D1/00;B05D3/02;B05C9/08;H01L41/22 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 余明伟;宁芝华 |
| 地址： | 20009*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于制备非铅系锡钛酸钡BTS铁电薄膜的方法领域。本发明所述的Ba(Ti，Sn)O3铁电薄膜的制备方法，其中成分锡所用的原料是二丁基氧化锡((C4H9) 2SnO)。与醋酸锡相比，本发明所使用的原材料二丁基氧化锡价格便宜、易购买，用其制备出的锡钛酸钡铁电薄膜同样具有较好的性能。本发明所使用的方法在和Si工艺的集成过程中没有铅的污染。与钛酸锶钡(BST)相比，在结构上，锡钛酸钡Ba(Ti，Sn)O3 (BTS)材料属于ABO3钙钛矿结构中的B位替代，其晶粒尺寸可以在比较大的范围内调整；性能上，相对于薄膜材料降低了漏导，提高了耐压特性。 | ||
| 搜索关键词： | 钛酸钡 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、Ba(Ti，Sn)O3铁电薄膜的制备方法，其特征在于，成分锡所用的原料是二丁基氧化锡。
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