[发明专利]一种钙钛矿结构镧锶锰氧半金属薄膜的制备方法

摘要

本发明是一种采用新型渠道火花烧蚀法(Channel Spark Ablation，CSA)制备钙钛矿结构镧锶锰氧(La_0.7Sr_0.3MnO₃，LSMO)薄膜的方法。本发明以LaAlO₃(001)单晶基片为基板，在700－850℃的基板温度下通过渠道火花烧蚀技术，利用La_0.7Sr_0.3MnO₃陶瓷靶在适当的氧气压、基板温度、脉冲电流和脉冲电压下，生长具有高度c轴取向性的La_0.7Sr_0.3MnO₃薄膜。所制备的薄膜具有高于室温的居里温度，在室温下具有良好的电学性能和铁磁性能。本发明方法所获得的薄膜在自旋电子器件中具有良好的应用潜能。

主权项

1、一种钙钛矿结构镧锶锰氧即La0.7Sr0.3MnO3半金属薄膜的制备方法，其特征是利用渠道火花烧蚀法制备薄膜，具体制备条件如下：(1)靶材是按化学剂量配比混合均匀的La0.7Sr0.3MnO3化合物烧结而成；(2)采用LaAlO3(001)单晶作为薄膜基片；维持基板温度在700～850℃；(3)高压直流功率输出源设定工作电压为-15～-19KV，工作电流为3.0～6.0mA，脉冲电子束重复频率为2.0～3.0Hz，镀膜沉积时间为0.5～30分钟；(4)将工作气体O2通入真空室，使工作气压为2.0～2.5Pa。