[发明专利]集成电路检测装置及其制备方法无效
| 申请号： | 200510032983.8 | 申请日： | 2005-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN1808129A | 公开（公告）日： | 2006-07-26 |
| 发明（设计）人： | 陈杰良 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R1/067;G01R31/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种集成电路检测装置，其包括一数据采集装置，该数据采集装置包括悬臂及形成在悬臂自由端用于接触待测电路的探针，其中该探针包括碳纳米管。本发明还包括该集成电路检测装置的制备方法，其包括步骤：在悬臂自由端形成一硅基底；在硅基底表面形成一导电金属薄膜；在导电金属薄膜表面形成一催化剂层；在催化剂层上生长碳纳米管，形成多个碳纳米管探针。本发明使用导电性能好、机械强度高的碳纳米管作为探针，有利于提高检测装置的灵敏度及精确度。该装置适用在检测集成电路芯片、薄膜晶体管芯片等。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 检测 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种集成电路检测装置，其包括一数据采集装置，该数据采集装置包括悬臂及形成在悬臂自由端用于接触待测电路的探针，其特征在于该探针包括碳纳米管。
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