[发明专利]表面形貌分析系统及其分析方法无效
| 申请号： | 200510033141.4 | 申请日： | 2005-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN1815139A | 公开（公告）日： | 2006-08-09 |
| 发明（设计）人： | 黄全德 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/30;G01B21/20;G01B21/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种表面形貌分析系统，其包括一表面轮廓测量仪；一用于安置工件的承载平台；一X－Y－Z平台，用于调整承载平台的空间三维位置；以及一显微观测系统。其中，该显微观测系统包括一反射镜和一显微观测仪器，所述反射镜用于将工件表面形貌影射到显微观测仪器中。本发明还提供利用上述系统的表面形貌分析方法。本发明所提供的表面形貌分析系统通过在工件与显微观测仪器之间设置一反射镜，使显微观测仪器能准确定位待测量的表面区域，以实现表面形貌的定位测量。该表面形貌分析系统可广泛应用在导光板和透镜模仁等工件的表面形貌分析。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 形貌 分析 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种表面形貌分析系统，其包括：一用于安置工件的承载平台；一X-Y-Z平台，用于调整承载平台的空间三维位置；一显微观测系统，用于选定工件表面的待测区域；以及一表面轮廓测量仪，用于探测所述待测区域的表面形貌；其特征在于：所述显微观测系统包括一设在承载平台一侧且与其成一定倾角的反射镜和一显微观测仪器，所述反射镜用于形成工件表面形貌的镜像，所述显微观测仪器用来观测所述镜像。
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