[发明专利]基板载具无效
| 申请号： | 200510034363.8 | 申请日： | 2005-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN1851043A | 公开（公告）日： | 2006-10-25 |
| 发明（设计）人： | 张庆州 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种基板载具，包括一前板及一后盖板，其中该前板上设有多个基板放置孔及多个定位孔，该后盖板上设有多个定位突起，其中所述后盖板通过该定位突起与该定位孔相配合固定于前板。该基板载具可防止镀膜时，镀膜颗粒镀于基板背面造成污染。 | ||
| 搜索关键词： | 基板载具 | ||
【主权项】：
1.一种基板载具，其特征在于：其包括一前板及一后盖板，该前板上设有多个基板放置孔及多个定位孔，该后盖板上设有多个定位突起，所述后盖板通过该定位突起与该定位孔相配合固定于前板。
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