[发明专利]一种感光元器件以及其镀膜方法和装置无效
| 申请号： | 200510034945.6 | 申请日： | 2005-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN1869279A | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | 胡伟;杨光 | 申请（专利权）人： | 维达力实业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王永文 |
| 地址： | 518000广东省深圳市龙岗*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明的一种感光元器件以及其镀膜方法和装置，其方法包括以下步骤：将数个未加保护层的感光元器件设置在一移动部件上，并设置在一密闭空间内；对该密闭空间抽真空，然后注入用于产生离子的气体，并加温加电压；设置一镀膜装置，由所述气体产生的离子流轰击镀膜材料产生溅射离子流，并射向所述感光元器件，所述感光元器件由所述移动部件带动穿越所述溅射离子流的区域，以减少镀膜时在所述感光元器件上的温度积累。本发明方法及其装置，实现了直接在感光元器件的微透镜层上的均匀镀膜，产品良率高，减少感光元器件的保护玻璃层，提高了感光器的感光度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 感光 元器件 及其 镀膜 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种感光元器件的镀膜方法，其包括以下步骤：a)将数个未加保护层的感光元器件设置在一移动部件上，并设置在一密闭空间内；b)对该密闭空间抽真空，然后注入用于产生离子的气体，并加温加电压；c)设置一镀膜装置，由所述气体产生的离子流轰击镀膜材料产生溅射离子流，并射向所述感光元器件，所述感光元器件由所述移动部件带动穿越所述溅射离子流的区域，以减少镀膜时在所述感光元器件上的温度积累。
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