[发明专利]基板运送装置有效
| 申请号： | 200510034984.6 | 申请日： | 2005-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN1868837A | 公开（公告）日： | 2006-11-29 |
| 发明（设计）人： | 周子玮 | 申请（专利权）人： | 群康科技（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/05 | 分类号： | B65G49/05;H01L21/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基板运送装置，其包括一底座、一基板承载机构和一主体结构，该基板承载机构包括一机械手臂和一夹具，该夹具与该主体结构相连并且固持该机械手臂，该机械手臂由上下两组长条形构件构成，该底座支撑该主体结构。其中，该机械手臂的上一组长条形构件之间的距离不同于下一组长条形构件之间的距离。该基板运送装置可运送多种不同尺寸的基板。 | ||
| 搜索关键词： | 运送 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板运送装置，其包括一主体结构、一基板承载机构和一底座，该基板承载机构包括一机械手臂和一夹具，该夹具与该主体结构相连并且固持该机械手臂，该机械手臂由上下两组长条形构件构成，该底座支撑该主体结构，其特征在于：该机械手臂的上一组长条形构件之间的距离不同于下一组长条形构件之间的距离。
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