[发明专利]一种GaN基LED外延片及其制备方法无效
申请号: | 200510035444.X | 申请日: | 2005-06-23 |
公开(公告)号: | CN1885572A | 公开(公告)日: | 2006-12-27 |
发明(设计)人: | 李述体;范广涵 | 申请(专利权)人: | 华南师范大学 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 广州粤高专利代理有限公司 | 代理人: | 禹小明 |
地址: | 510070广东省广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及半导体光电子器件领域,特别是一种新型结构的GaN基LED外延片及其制备方法。该新型的GaN基LED外延片的结构从下至上依次为衬底、n型层、量子阱、限制层、缓冲层及p型层,其特点是p型层为空穴浓度为2×1018~6×1018cm-3的掺受主的GaP层,并在缓冲层与量子阱之间生长一限制层。p型层空穴浓度增大,可降低p型层电阻,外加电压下能增加空穴的注入,并使电流扩散更均匀。同时,限制层能克服由于GaP禁带宽度小,对量子阱内电子和空穴的限制作用小的缺点,大大增强对量子阱内的电子和空穴起限制作用,增大量子阱中电子和空穴的复合,从而明显改善GaN基LED的性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 gan led 外延 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1、一种GaN基LED外延片,其结构从下至上依次为衬底、n型层、量子阱、限制层、缓冲层及p型层,其特征在于缓冲层与量子阱之间生长了限制层,且p型层为空穴浓度为2×1018~6×1018cm-3的GaP层。
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