[发明专利]一种GaN基LED外延片及其制备方法无效

专利信息
申请号: 200510035444.X 申请日: 2005-06-23
公开(公告)号: CN1885572A 公开(公告)日: 2006-12-27
发明(设计)人: 李述体;范广涵 申请(专利权)人: 华南师范大学
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00
代理公司: 广州粤高专利代理有限公司 代理人: 禹小明
地址: 510070广东省广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及半导体光电子器件领域,特别是一种新型结构的GaN基LED外延片及其制备方法。该新型的GaN基LED外延片的结构从下至上依次为衬底、n型层、量子阱、限制层、缓冲层及p型层,其特点是p型层为空穴浓度为2×1018~6×1018cm-3的掺受主的GaP层,并在缓冲层与量子阱之间生长一限制层。p型层空穴浓度增大,可降低p型层电阻,外加电压下能增加空穴的注入,并使电流扩散更均匀。同时,限制层能克服由于GaP禁带宽度小,对量子阱内电子和空穴的限制作用小的缺点,大大增强对量子阱内的电子和空穴起限制作用,增大量子阱中电子和空穴的复合,从而明显改善GaN基LED的性能。
搜索关键词: 一种 gan led 外延 及其 制备 方法
【主权项】:
1、一种GaN基LED外延片,其结构从下至上依次为衬底、n型层、量子阱、限制层、缓冲层及p型层,其特征在于缓冲层与量子阱之间生长了限制层,且p型层为空穴浓度为2×1018~6×1018cm-3的GaP层。
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