[发明专利]碳纳米管制备装置及制备方法无效
申请号: | 200510036758.1 | 申请日: | 2005-08-19 |
公开(公告)号: | CN1915806A | 公开(公告)日: | 2007-02-21 |
发明(设计)人: | 董才士 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | C01B31/02 | 分类号: | C01B31/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种碳纳米管制备装置及制备方法。所述碳纳米管的制备装置包括一炉管,其特征在于所述炉管内或炉管外表面设置有一冷却装置。所述碳纳米管的制备方法包括以下步骤:提供一上述碳纳米管制备装置,其中所述碳纳米管制备装置还包括一基板;在所述基板上沉积一催化剂层;加热炉管至一预定温度;向炉管内通入碳源气体生长碳纳米管;向冷却装置内通入冷却工作物质,冷却炉管内的温度至 300℃以下以取出碳纳米管。 | ||
搜索关键词: | 纳米 制备 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种碳纳米管的制备装置,其包括一炉管,其特征在于所述炉管内或炉管外表面处设置有一冷却装置。
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