[发明专利]一种碳纳米管制造方法无效
| 申请号： | 200510036918.2 | 申请日： | 2005-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN1919727A | 公开（公告）日： | 2007-02-28 |
| 发明（设计）人： | 吕昌岳;陈杰良;余泰成;林志泉 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B31/02 | 分类号： | C01B31/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种碳纳米管制造方法，其包括下列步骤：提供一基底；在所述基底表面形成一复合膜层，该复合膜层包括多层催化剂金属膜层及多层碳膜层；将所述复合膜层进行热处理，形成含有金属碳化物的催化剂层；在所述催化剂层上进行化学气相沉积生长碳纳米管。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种碳纳米管制造方法，包括以下步骤：提供一基底；在所述基底表面形成一复合膜层，该复合膜层包括多层催化剂金属膜层及多层碳膜层；将所述复合膜层进行热处理，形成含有金属碳化物的催化剂层；在所述催化剂层上进行化学气相沉积生长碳纳米管。
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