[发明专利]碳纳米管生长装置及方法无效
申请号: | 200510037045.7 | 申请日: | 2005-09-02 |
公开(公告)号: | CN1923677A | 公开(公告)日: | 2007-03-07 |
发明(设计)人: | 张庆州 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | C01B31/02 | 分类号: | C01B31/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种碳纳米管生长装置,其包括:一反应腔,其具有一进气口;至少一微流管,其与该进气口相连接,该微流管用于碳纳米管生长用碳源气的预解离;及一加热装置,用以对通过该微流管的碳源气进行加热解离。本发明通过设置一向反应腔提供碳源气的微流管及供通过该微流管的碳源气进行高温加热的加热装置,由于微流管具有较小的管径面积,其将向反应腔内提供一解离的碳源气,进而可有效降低碳纳米管生长温度。本发明还提供一种碳纳米管生长方法。 | ||
搜索关键词: | 纳米 生长 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种碳纳米管生长装置,其包括:一反应腔,其具有一进气口;至少一微流管,其与该进气口相连接,该微流管用于碳纳米管生长用碳源气的预解离;及一加热装置,用以对通过该微流管的碳源气进行加热解离。
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