[发明专利]纳米粉体制备装置及制备方法无效
| 申请号： | 200510037128.6 | 申请日： | 2005-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN1927447A | 公开（公告）日： | 2007-03-14 |
| 发明（设计）人： | 陈杰良 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/10 | 分类号： | B01J19/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种纳米粉体制备装置，该装置包括：一反应室，其具有一入射窗；一激光产生器，用于产生激光束；一光学系统，其位于入射窗处，用于聚焦激光产生器产生的激光束，聚焦后的激光束通过入射窗进入反应室；至少一反应气体输入装置，用于向反应室内通入反应气体；一抽真空装置，用于对反应室抽真空；一粉体收集单元，用于收集反应气体发生反应生成的粉体；以及一微波产生单元，用于产生微波，微波于反应室内产生微波电子回旋共振。本发明还提供一种纳米粉体制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 体制 装置 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种纳米粉体制备装置，该装置包括：一反应室，其具有一入射窗；一激光产生器，用于产生激光束；一光学系统，其位于入射窗处，用于聚焦激光产生器产生的激光束，聚焦后的激光束通过入射窗进入反应室内；至少一反应气体输入装置，用于向反应室内通入反应气体；一抽真空装置，用于对反应室抽真空；一粉体收集单元，用于收集反应气体反应生成的粉体，其特征在于：还包括一微波产生单元，用于产生微波，该微波在反应室内产生微波电子回旋共振。
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