[发明专利]电容式相对湿度传感器有效
| 申请号： | 200510037809.2 | 申请日： | 2005-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN1651910A | 公开（公告）日： | 2005-08-10 |
| 发明（设计）人： | 彭韶华;黄庆安;秦明 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;G01N27/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陆志斌 |
| 地址： | 21009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于微电子机械系统的电容式相对湿度传感器，由衬底、电容下极板和电容上极板组成，电容下极板设在衬底上，电容上极板位于电容下极板的上方，在电容上极板的电容上极板投影以外的区域设有氧化层，氧化层上设有电容上、下极板引线，在电容上极板上设有感湿介质层，其特征在于电容上极板通过其固定在氧化层上的四个方形锚区加连杆进行支撑；本发明具有为可动上极板提供形变空间等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 相对湿度 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种用于微电子机械系统的电容式相对湿度传感器，由衬底(1)、电容下极板(2)和电容上极板(5)组成，电容下极板(2)设在衬底(1)上，电容上极板(5)位于电容下极板(2)的上方，在电容上极板(5)的电容上极板(5)投影以外的区域设有氧化层(3)，氧化层(3)上设有电容上、下极板引线(41、42)，在电容上极板(5)上设有感湿介质层，其特征在于电容上极板(5)通过其固定在氧化层(3)上的四个方形锚区加连杆进行支撑。
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