[发明专利]锥面锗粒金刚石磨床

摘要

本发明是一种程序控制的锥面锗粒磨削的专用磨床，主要用于半导体材料圆柱形锗粒的锥面磨削，也适用于玻璃、陶瓷、宝石等硬度高、脆性大的材料的小直径圆柱体的锥面磨削。它由高速磨头、金刚石砂轮、冷却装置、双坐标直线导轨工作台、回转工作台、气动系统、工件旋转主轴、工件气动夹紧装置及电气控制装置等组成。主要优点是：可磨削小直径锗粒的圆锥面；高速金刚石磨砂磨削的精度高，成本低；可实现连续的工作循环，改善了操作者的操作条件，生产效率高；产品磨削的质量稳定，合格率得到提高；由于采用了气动元件，可实现多台设备共用一个气源，造价省。

主权项

1、一种锥面锗粒金刚石磨床，包括高速旋转的磨头主轴及驱动组件、金刚石砂轮组件、金刚石砂轮的冷却装置、工件气动夹紧装置、工件旋转主轴、工件旋转主轴驱动的无级调速装置、驱动装置、回转工作台、XY坐标方向进给量微调装置、工件夹紧头修正器，其特征在于所述驱动装置是由滚动直线导轨组成的XY双坐标工作台及带油阻尼的双作用气缸组成的驱动装置。