[发明专利]单分散球形氧化铈的制备方法及其在高精密抛光中的用途无效
| 申请号： | 200510040459.5 | 申请日： | 2005-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN1699282A | 公开（公告）日： | 2005-11-23 |
| 发明（设计）人： | 陈志刚;陈建清;陈杨;李霞章 | 申请（专利权）人： | 江苏工业学院 |
| 主分类号： | C04B35/50 | 分类号： | C04B35/50;C04B35/622;C09K3/14 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 | 代理人： | 汪旭东 |
| 地址： | 2130*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及超细粉体制备及其应用领域，其制备方法为称取一定量的铈盐和尿素分别溶于蒸馏水中，将两种溶液混合并用电动搅拌器搅拌均匀。其中Ce3+相对于总溶液的浓度范围为0.005～0.1mol/l，尿素与铈盐摩尔比在10∶1～100∶1之间，混合溶液密封好后在70℃～90℃的温度下加热1～3h，取出冷却静置，在室温下陈化0.5～12小时，过滤，沉淀物经洗涤后，进行干燥，再在200℃～800℃煅烧0.5～3h，得到CeO2粉体。取制得的粉体配制成抛光液，采用抛光机对硅晶片进行抛光。由于制得的颗粒形貌为球形，且粒度相当小(在亚微米级)，对表面质量要求相当高的硅晶片抛光具有出较大的优越性，表现为有尽可能小的表层和亚表层损伤、表面残余应力极小，且晶体表面具有完整的晶体结构。 | ||
| 搜索关键词： | 分散 球形 氧化 制备 方法 及其 精密 抛光 中的 用途 | ||
【主权项】：
1.单分散球形氧化铈的制备方法，其特征在于称取一定量的铈盐和尿素分别溶于蒸馏水中，将两种溶液混合并用电动搅拌器搅拌均匀，其中Ce3+相对于总溶液的浓度范围为0.005～0.1mol/l，尿素与铈盐摩尔比在10∶1～100∶1之间，混合溶液密封好后在70℃～90℃的温度下加热1～3h，取出冷却静置，在室温下陈化0.5～12小时，过滤，沉淀物经洗涤后，进行干燥，再在200℃～800℃煅烧0.5～3h，得到CeO2粉体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏工业学院，未经江苏工业学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510040459.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
