[发明专利]导电复合陶瓷蒸发舟的生产方法无效
申请号: | 200510040520.6 | 申请日: | 2005-06-15 |
公开(公告)号: | CN1724471A | 公开(公告)日: | 2006-01-25 |
发明(设计)人: | 谢一心;邢维明;谢腾飞;邢程波 | 申请(专利权)人: | 谢一心;邢维明 |
主分类号: | C04B35/583 | 分类号: | C04B35/583;C04B35/622;C23C14/24;C23C14/56 |
代理公司: | 南京众联专利代理有限公司 | 代理人: | 顾伯兴 |
地址: | 214400江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种导电复合陶瓷蒸发舟的生产方法,其生产方法如下:先将颗粒为100~200目的原料粉体AlN 8~15%、TiB2 30~40%和BN 50~60%混和;将混合后的粉体干拌后,再和酒精混合并搅拌;将搅拌后的粉料加热以烘干粉料并去处粉料中的酒精;将粉料加入模具中,放入氩气气氛炉中加压、加热,冷却后制得导电复合陶瓷块,将导电复合陶瓷块进行切割和铣槽制得导电复合陶瓷蒸发舟。本发明的优点是制得的导电复合陶瓷蒸发舟密度高,有均匀的电阻,电阻率变化范围可从200~2000根据需要进行调节,使用寿命达到12~15小时,产品合格率达95%以上。 | ||
搜索关键词: | 导电 复合 陶瓷 蒸发 生产 方法 | ||
【主权项】:
1、一种导电复合陶瓷蒸发舟的生产方法,包括如下步骤:(1)、将颗粒为100~200目的原料粉体以下列重量百分比混和AlN: 8~15%,TiB2:30~40%,BN: 50~60%;(2)、将混合后的粉体干拌15~20分钟,再和酒精按粉料∶酒精=1∶1.5~2的重量百分比混合并搅拌10~15小时;(3)、将混合搅拌后的粉料在60~70℃加热10~15小时,以烘干粉料并去处粉料中的酒精;(4)、将粉料加入模具中,放入氩气气氛炉中,温度为2100~2200℃,压力为40~45MPa,加热4~5小时,冷却后制得导电复合陶瓷块;(5)、将导电复合陶瓷块进行切割和铣槽制得导电复合陶瓷蒸发舟。
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