[发明专利]一种微型平板静电驱动器及其制作方法

摘要

一种微型平板静电驱动器及其制作方法，为了克服现有技术中所需驱动电压高的缺陷，本发明提出了一种具有非线性弹性系数的支撑梁结构，将锚梁5的一端固定于锚点12上，锚点12固定在绝缘层上。锚梁5和内弹性梁7通过横梁9平行连接，触发器11固定于横梁9的下方，并与基底13有一定距离，该非线性微梁结构明显增大了微型平板静电驱动器的驱动行程。本发明的工艺为：1.在基底(13)上依次沉积绝缘层和多晶硅层，并在多晶硅层上刻蚀出微型平板静电驱动器的下极板(17)。2.淀积牺牲层(20)，并刻蚀出锚点(12)、触发器(11)和防粘附(21)的位置。3.淀积多晶硅层，刻蚀并释放得到上电极(3)及支撑梁。

主权项

1、一种微型平板静电驱动器，包括上极板3、下极板17及支撑梁，上极板3由位于极板四角的四个梁支撑，位于下极板17的上方，基底13上是绝缘层，下极板17位于绝缘层之上，其特征在于：所述的支撑梁具有非线性弹性系数，包括锚梁5、内弹性梁7、横梁9、触发器11和锚点12，其中，锚梁5的一端固定于锚点12上，锚点12固定在绝缘层上。锚梁5和内弹性梁7平行，并通过横梁9连接于同一平面内，触发器11固定于横梁9的下方，并与基底13有一定距离。