[发明专利]溅射离子泵的电源驱动方法无效
| 申请号： | 200510042737.0 | 申请日： | 2005-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN1696333A | 公开（公告）日： | 2005-11-16 |
| 发明（设计）人： | 杨晓天;张军辉;游志明;高大庆;蒙峻;胡振军;张喜平;侯生军;张新俊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 兰州振华专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张晋 |
| 地址： | 730000*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种给特殊负载供电的方法，确切讲本发明是一种给用于抽取高真空的溅射离子泵供电的方法。本发明的方法是采用采用一台输出功率和其最大输出电流至少等于单台溅射离子泵最大工作功率和最大启动电流的电源，由这一台电源向至少两台并联的溅射离子泵供电。依本发明的方法对现有溅射离子泵电源进行改造形成相应的电源。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 离子 电源 驱动 方法 | ||
【主权项】：
1、溅射离子泵的电源驱动方法，其特征在于采用一台输出功率和其最大输出电流至少等于单台溅射离子泵最大工作功率和最大启动电流的电源，使该电源并联向至少两台溅射离子泵供电。
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