[发明专利]深亚微米三维滚压模具及其制作方法无效
| 申请号： | 200510042777.5 | 申请日： | 2005-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN1693182A | 公开（公告）日： | 2005-11-09 |
| 发明（设计）人： | 丁玉成;刘红忠;卢秉恒;段玉岗 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00;B29C59/02;B29C33/02;H01L51/40 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李郑建 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于微纳器件或功能结构制造的深亚微米三维滚压模具及其制作方法。滚压模具包括一个滚筒，滚筒内部有电阻式加热器，其特征在于，该滚筒表面依次有模具金属层和纳米级厚度的类金刚石过渡层，构成深亚微米三维结构，其截面尺寸组合为：侧壁特征的倾斜度范围为90°＜α＜180°、横向尺寸范围L＞50nm、纵向深度范围0＜H＜50μm。其模具制造方法为：通过实施调节电子束流剂量，在电子光刻胶上直写出按任意xy位置函数变化的曝光深度，显影后形成深亚微米三维结构电子光刻胶腔体；应用溅射技术在电子光刻胶腔体中附着纳米级厚度类金刚石过渡层；通过精密电铸形成厚度为0.2－0.5mm的金属模具本体，并弯卷在内装电阻加热器的金属滚筒上。 | ||
| 搜索关键词： | 微米 三维 模具 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种深亚微米三维滚压模具，包括一个滚筒，滚筒内部有电阻式加热器；其特征在于，该滚筒表面依次有模具金属层和纳米级厚度的类金刚石过渡层，构成深亚微米三维结构；该深亚微米三维结构截面的尺寸组合为：侧壁特征的倾斜度范围为90°＜α＜180°、横向尺寸范围L＞50nm、纵向深度范围0＜H＜50μm。
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