[发明专利]大功率热梯度化学气相渗透工艺系统监控装置及监控方法无效

专利信息
申请号: 200510043045.8 申请日: 2005-08-03
公开(公告)号: CN1730722A 公开(公告)日: 2006-02-08
发明(设计)人: 李贺军;孙国岭;齐乐华;李克智;张秀莲 申请(专利权)人: 西北工业大学
主分类号: C23C16/52 分类号: C23C16/52;C23C16/26
代理公司: 西北工业大学专利中心 代理人: 黄毅新
地址: 710072陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种大功率热梯度化学气相渗透工艺系统监控装置,温度传感器、压力传感器、元件损坏检测器、瓦斯信号检测器以及流量计的所采集的信号传输给监控计算机,监控计算机同时输出两路信号,一路到显示器,另一路通过D/O转换器与驱动放大电路分别控制脉冲封锁继电器和中间继电器,进而控制脉冲触发电路和真空开关继电器,使得整流电路停止工作或高压开关断开。还公开了上述装置的监控方法,监控计算机采集温度、压力等信号与设定的标准值进行比较,比较结果为正常时,循环采集比较,直至沉积工艺结束;比较结果不正常时,则关断10KV高压电路,或者使整流电路停止工作并报警。本发明采用数据库进行管理,实现了大功率TCVI工艺系统状态的自动检测。
搜索关键词: 大功率 梯度 化学 渗透 工艺 系统 监控 装置 方法
【主权项】:
1、一种大功率热梯度化学气相渗透工艺系统监控装置,包括脉冲触发电路(19)、整流电路(22)、调压变压器(23)、高压开关(24),其特征在于:还包括信号调理器(10)、A/D转换器(11)、监控计算机(12)、显示器(13)、D/O转换器(14)、驱动放大电路(15)、脉冲封锁继电器(16)、中间继电器(17)、真空开关继电器(21);温度传感器(5)、压力传感器(6)、元件损坏检测器(7)、瓦斯信号检测器(8)以及流量计(9)的所采集的信号,经信号调理器(10)和A/D转换器(11)传输给监控计算机(12),监控计算机(12)同时输出两路信号,一路到显示器(13),另一路通过D/O转换器(14)与驱动放大电路(15)分别控制脉冲封锁继电器(16)和中间继电器(17),进而控制脉冲触发电路(19)和真空开关继电器(21),使得整流电路(22)停止工作或高压开关(24)断开。
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