[发明专利]MEMS加速度地震传感器有效
| 申请号： | 200510043987.6 | 申请日： | 2005-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN1892253A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | 牛德芳;颜永安;于国良;唐晓刚;张乐巧;张桂先;赵冰;孙中心;星学奎 | 申请（专利权）人： | 威海双丰电子集团有限公司 |
| 主分类号： | G01V1/18 | 分类号： | G01V1/18 |
| 代理公司： | 威海科星专利事务所 | 代理人： | 马良悦 |
| 地址： | 264209山东省威*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS加速度地震传感器，包括上电极、下电极和可移动的中间电极，上、下电极是以微机械加工技术形成的槽型电极，中间电极包括边框、质量块、悬臂梁。本发明质量块为正六边形结构，通过其上均布设置的三条悬臂梁支撑在边框及上电极、下电极形成的槽中。保证了中间电极平动，本发明横向隔离性能效果好，线形好，抗冲击性强，温度漂移小，本发明结构简单，体积小，安装方便，工作可靠性高。特别适合于制作三分量传感器。 | ||
| 搜索关键词： | mems 加速度 地震 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS加速度地震传感器，包括上电极、下电极和可移动的中间电极，上电极、下电极是以微机械加工技术形成的槽型电极，中间电极包括边框、质量块、悬臂梁，其特征在于：质量块为正六边形结构，通过其上均布设置的三条悬臂梁支撑在边框及上电极、下电极形成的槽中。
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