[发明专利]自由站立金刚石厚膜用于声表面波滤波器基板

摘要

本发明属于材料科学技术领域，涉及到无机非金属功能材料在电子器件中的应用。其特征在于采用无衬底自由纯净金刚石厚膜，作为一种体材料应用于声表面波滤波器中，作为其衬底材料；应用自由站立金刚石厚膜的成核面，经过表面机械及光学研磨抛光处理，作为沉积叉指换能器和压电薄膜的表面，采用传统的半导体器件制备工艺制备出氧化锌/金刚石层状结构的声表面波器件。本发明的效果和益处是不仅利用了金刚石高弹性系数、高声速的性能，可明显提高器件的响应频率，而且充分利用金刚石最高热导率的优势，使SAW器件具有高功率耐久性的特点。提出利用表面平整光滑的金刚石膜成核面作为沉积压电薄膜表面的方法，解决了金刚石膜生长面难以加工的技术难题。

主权项

1.一种自由站立金刚石厚膜用于声表面波滤波器基板，其特征在于采用无衬底的自由纯净金刚石厚膜作为其衬底材料；应用自由站立金刚石厚膜的成核面，作为沉积叉指换能器和压电薄膜的表面，制备氧化锌/金刚石层状结构的声表面波器件。