[发明专利]高速透平真空泵

摘要

高速透平真空泵，包括自控柜，主抽真空管路，抽中、低压真空单元和抽高真空单元，抽中、低压真空单元，包括高速透平风机和风机驱动电机；抽高真空单元，包括容积式真空机和真空机驱动电机；主抽真空管路上装设有真空压力传感器A和B，主抽真空管路通过支管与高速透平风机的入气口连接，在支管上装设有电磁阀C，主抽真空管路通过支管与容积式真空机的入气口连接，在支管上装设有电磁阀D。本发明因采用了高速透平风机而且具有其它品种真空泵无法同时达到的抽气速率(150～20000L/S)和真空度(0.099MPa)，且自动化程度高，适应当前科技高速发展的需要，可广泛应用于冶金、石油、化工、食品、航空、航天、制药、制糖、印染、陶瓷、环保、电子及科研等行业。

主权项

1、高速透平真空泵，包括自控柜(2)，主抽真空管路(1)，抽中、低压真空单元和抽高真空单元，其特征在于：抽中、低压真空单元，包括高速透平风机(3)和风机驱动电机(4)；抽高真空单元，包括容积式真空机(5)和真空机驱动电机(6)；主抽真空管路(1)上装设有真空压力传感器(A)和(B)，主抽真空管路(1)通过支管(8)与高速透平风机(3)的入气口连接，在支管(8)上装设有电磁阀(C)，主抽真空管路(1)通过支管(9)与容积式真空机(5)的入气口连接，在支管(9)上装设有电磁阀(D)。