[发明专利]带有屏蔽电极结构的场致发射平板显示器及其制作工艺

摘要

本发明涉及一种带有屏蔽电极结构的场致发射平板显示器及其制作工艺，包括由阴极面板、阳极面板和四周玻璃围框构成的密封真空腔，在阴极面板上有印刷的碳纳米管阴极，用于控制碳纳米管阴极电子发射的控制栅极，支撑墙结构，在阳极面板上有光刻的锡铟氧化物薄膜层以及制备在锡铟氧化物薄膜层上面的荧光粉层，在显示器内部真空腔中设置有用于屏蔽二次电子发射的屏蔽电极结构，具有可进一步提高器件制作的成功率，提高器件的显示寿命和显示质量，制作过程稳定可靠，结构简单，制作成功率高的优点。

主权项

1、一种带有屏蔽电极结构的场致发射平板显示器，包括由阴极面板[1]、阳极面板[9]和四周玻璃围框[13]构成的密封真空腔、在阴极面板[1]上有印刷的碳纳米管阴极[8]、用于控制碳纳米管阴极[8]电子发射的控制栅极[4]、支撑墙结构[15]、在阳极面板[9]上有光刻的锡铟氧化物薄膜层[10]以及制备在锡铟氧化物薄膜层[10]上面的荧光粉[12]层，其特征在于：在显示器内部真空腔中设置有用于屏蔽二次电子发射的屏蔽电极结构[7]。