[发明专利]凸起检查装置以及方法无效
| 申请号： | 200510048814.3 | 申请日： | 2005-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN1825095A | 公开（公告）日： | 2006-08-30 |
| 发明（设计）人： | 赤木佑司;大西润 | 申请（专利权）人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01B11/30 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高龙鑫;王玉双 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种凸起检查装置以及方法，形状检出部，从由CCD照相机取得的目标图像中所包含的表示凸起的图像中，检测出具有正确的凸起的形状的图像。检查区域设定部，在目标图像的区域中，将至少包含由形状检出部检测出的图像的区域作为非检查区域，而将其它区域作为检查区域来设定。主图像存储部，存储成为检查的基准的主图像。比较检查部，针对由检查区域设定部设定的检查区域，比较目标图像与主图像，从而检查凸起是否以规定的精度形成。 | ||
| 搜索关键词： | 凸起 检查 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种凸起检查装置，检查形成在基板上的凸起，其特征在于，具有：拍摄部，其对上述基板进行拍摄；形状检出部，其从由上述拍摄部取得的目标图像中所包含的表示凸起的图像中，检测出具有正确的凸起的形状的图像；检查区域设定部，其在上述目标图像的区域中，将至少包含由上述形状检出部检测出的图像的区域作为非检查区域，而将其它区域作为检查区域来设定；主图像存储部，其存储成为检查的基准的主图像；比较检查部，其针对由上述检查区域设定部设定的检查区域，比较上述目标图像与上述主图像，从而检查凸起是否以规定的精度形成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大日本网目版制造株式会社，未经大日本网目版制造株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510048814.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种数码金相显微图像放大倍率的标定方法
- 下一篇：图像传感器及其制造方法
