[发明专利]一种玫瑰花状的ZnO纳米结构材料及其制备技术无效
申请号: | 200510048904.2 | 申请日: | 2005-01-14 |
公开(公告)号: | CN1654334A | 公开(公告)日: | 2005-08-17 |
发明(设计)人: | 邱东江;施红军;蒋银土;余萍;吴惠桢 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | C01G9/02 | 分类号: | C01G9/02 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 | 代理人: | 唐银益 |
地址: | 310027*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种具有玫瑰花状形貌特征的ZnO纳米结构材料及其制备技术,属于半导体光电子材料与器件技术领域。本发明的玫瑰花状ZnO纳米结构材料,其特征是直接在衬底表面生长出具有玫瑰花状形貌特征的ZnO纳米晶体结构材料。该材料的制备特征是采用电子束反应蒸发技术,在衬底表面生长得到。 | ||
搜索关键词: | 一种 玫瑰花 zno 纳米 结构 材料 及其 制备 技术 | ||
【主权项】:
1、一种玫瑰花状的ZnO纳米结构材料产品,其特征是在衬底表面生长的、具有纳米尺度和玫瑰花形貌特征的ZnO纳米材料;采用一种电子束反应蒸发方法,以ZnO陶瓷靶材及NH3/H2混合气为原料,在衬底表面生长得到玫瑰花状的ZnO纳米结构材料。
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