[发明专利]一种日盲区紫外探测器用的薄膜材料及其制造方法

摘要

一种日盲区紫外探测器用的薄膜材料，其特征是该薄膜材料的分子式为Ni_1－XMg_XO，式中0.2≤X≤0.3；制造该材料采用下列工艺步骤：1)按照分子式Ni_1－XMg_XO中的镁/镍原子比，将重量比为1∶1.27～1∶4.63的乙酸镁和乙酸镁放入容器中，以己二醇甲醚为溶剂，冰醋酸为催化剂，在60℃下搅拌50～70分钟，放置陈化24小时，获得均匀透明的绿色溶胶；2)用提拉法或旋涂法在衬底上涂上一层溶胶；3)把涂有溶胶的衬底在80℃下烘干，在500℃下热处理1～2小时，再在900～1100℃下高温热处理2～6小时后自然冷却，获得所需成分的薄膜材料。同现有技术比较，本发明的突出优点是：该薄膜材料制造工艺特别简单，无毒性，成本低，是一种理想的日盲区紫外探测器使用的薄膜材料。

主权项

1.一种日盲区紫外探测器用的薄膜材料，其特征在于：该薄膜材料是镍镁氧化物，其分子式为Ni1-XMgXO，式中0.2≤X≤0.3。