[发明专利]以定向碳纳米管层作为气敏层的气敏传感器的制造方法

摘要

一种以定向碳纳米管层作为气敏层的气敏传感器的制造方法，其特征在于：A)铝质底板表面经阳极氧化处理后形成具有预定大小的纵向微孔的Al₂O₃层；B)在预定浓度配比的电解液中，采用电化学法将Co纳米粒子沉积在纵向微孔底部；C)采用真空溅射技术在已经镀Co纳米粒子的Al₂O₃层上制成叉指金电极；D)在650℃～680℃下，采用CVD法在Al₂O₃层上定向生长碳纳米管层。同现有技术比较，本发明具有如下突出优点：1)在铝表面作阳极氧化处理时可对纵向微孔参数可进行优选；2)气敏层是定向碳纳米管层，可显著优化苯系气体的响应特性；3)采用Co纳米粒子作为催化剂，可以保证定向碳纳米管可控生长；4)本传感器可在常温下工作，有利于实现电导型气敏传感器的微型化、集成化。

主权项

1.一种以定向碳纳米管层作为气敏层的气敏传感器的制造方法，包括在铝质底板上制成绝缘层，叉指金电极以及气敏层，其特征在于该方法采用如下步骤：A)铝质底板(1)表面经阳极氧化处理后形成具有预定大小的纵向微孔的三氧化二铝层作为绝缘层(2)；B)用浓度为60g/l的CoSO4·7H2O溶液和浓度为3.5g/l的H3BO3溶液配成电解液，控制其配比，使电解液的PH值为3.1～3.7，采用电化学法将Co纳米粒子沉积在Al2O3绝缘层上的纵向微孔底部；C)采用真空溅射技术在微孔底部沉积有Co纳米粒子的绝缘层(2)上制成叉指金电极(3)；D)在650℃～680℃下，在微孔底部沉积有Co纳米粒子的绝缘层(2)上未被叉指金电极覆盖的部分，采用CVD法定向生成碳纳米管层为气敏层(4)。