[发明专利]一种自润滑多层复合涂层及其制备方法无效
申请号: | 200510050611.8 | 申请日: | 2005-07-07 |
公开(公告)号: | CN1727520A | 公开(公告)日: | 2006-02-01 |
发明(设计)人: | 涂江平;张俐丽;何丹农;余震;杨友志 | 申请(专利权)人: | 浙江大学;上海交通大学 |
主分类号: | C23C28/00 | 分类号: | C23C28/00;C23C14/35;C23C30/00 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人: | 韩介梅 |
地址: | 310027浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开的自润多层滑复合涂层是由厚度为10-50nm的金属Mo层与厚度为20-100nm的IF-MoS2层交替形成的多层Mo/IF-MoS2复合涂层,复合涂层的总厚度为1-5μm。该复合涂层的制备是以层状结构的MoS2粉末、纯S粉和金属Mo片为基本原料,采用磁控溅射和多弧离子镀反复交叉溅射沉积金属Mo层与IF-MoS2层而制成。它具有优良的环境稳定性、极低的摩擦系数,较高的耐磨性能,并与金属基底有良好的结合强度,可用于制造在真空和大气等环境中通用的轴承、陀螺仪和齿轮等表面的自润滑耐磨防护涂层。 | ||
搜索关键词: | 一种 润滑 多层 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种自润滑多层复合涂层,其特征是由厚度为10-50nm的金属Mo层与厚度为20-100nm的IF-MoS2层交替形成的多层Mo/IF-MoS2复合涂层,复合涂层的总厚度为1-5μm。
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