[发明专利]聚合物上硅光波导无效
| 申请号： | 200510050878.7 | 申请日： | 2005-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN1727928A | 公开（公告）日： | 2006-02-01 |
| 发明（设计）人： | 杨建义;王帆;李广波;江晓清;王明华 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310027浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种聚合物上硅光波导，它依次包括上限制层、硅芯层、聚合物下限制层和衬底。硅芯层形状为平板、脊型、倒脊型、上下脊型或者条型。本发明提出在聚合物材料上实现硅波导，具有集成光子器件设计自由度大的优点，可以同时利用硅材料和聚合物材料的特性，将两者结合，进行光子器件新功能的研究和开发。在制作上更是具有工艺简单的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 聚合物 上硅光 波导 | ||
【主权项】：
1.聚合物上硅光波导，其特征在于：它依次包括上限制层、硅芯层、聚合物下限制层和衬底。
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