[发明专利]离子迁移率分析装置及离子迁移率分析方法无效
申请号: | 200510051340.8 | 申请日: | 2005-03-04 |
公开(公告)号: | CN1758057A | 公开(公告)日: | 2006-04-12 |
发明(设计)人: | 桥本雄一郎;长谷川英树;和气泉 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立制作所 |
主分类号: | G01N27/62 | 分类号: | G01N27/62;G01N30/88;G01N30/72;H01J49/40 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 郝庆芬 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种离子迁移率分析装置,其包括:生成第1离子的离子源1;根据飞行漂移时间分离所述第1离子的第1漂移部(L1);对由第1漂移部分离出的所述第1离子进行离解,来生成第2离子的离子离解部(Lg);以及根据飞行漂移时间分离所述第2离子的第2漂移部(L2);第1漂移部、离子离解部、第2漂移部,被设置在压力为10mTorr以上的腔室内;通过所述结构,能够以低成本进行高分辨率的离子分离检测。 | ||
搜索关键词: | 离子迁移率 分析 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种离子迁移率分析装置,其特征在于,包括:离子源,生成第1离子;第1漂移部,其根据飞行漂移时间分离所述第1离子;离子离解部,其对由第1漂移部分离的所述第1离子进行离解来生成第2离子;和第2漂移部,其根据飞行漂移时间分离所述第2离子。
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