[发明专利]具有集成透镜的垂直腔表面发射激光器有效
| 申请号： | 200510051600.1 | 申请日： | 2005-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN1722553A | 公开（公告）日： | 2006-01-18 |
| 发明（设计）人： | 达·库·王;弗兰克·Z·Y·胡;安妮特·G·格罗特 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/02;H01S5/022;H01S5/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有集成透镜的垂直腔表面发射激光器和制造工艺。晶片级器件制造工艺形成围绕多个VCSEL的发射区域的凸立结构。凸立结构可以被成形以保持球透镜或者其他用于各自的VCSEL的光学元件，或者可以包括在其上形成光学元件的平台。在芯片级或者晶片级工艺中被附接到凸立结构上的球透镜配合到凸立结构中，并被自动对准。光学元件的晶片级制造可以以与光刻工艺相关的精确度对准光学元件。可以使用模塑或者复制工艺、印刷方法或者在通过光刻形成的区域的回流过程中的表面张力，形成光学元件。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 集成 透镜 垂直 表面 发射 激光器 | ||
【主权项】：
1.一种器件，包括：含有激光二极管的管芯；凸立结构，所述凸立结构被附接到所述管芯上并围绕发射区域，来自所述激光二极管的光束通过所述发射区域从所述管芯发出；和球透镜，所述球透镜被附接到所述凸立结构上，并至少部分地驻留在由所述凸立结构界定的腔中。
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