[发明专利]流量传感器无效
申请号: | 200510051724.X | 申请日: | 1998-11-19 |
公开(公告)号: | CN1657881A | 公开(公告)日: | 2005-08-24 |
发明(设计)人: | 山岸喜代志;川西利明;友成健二;井上真一;小池淳 | 申请(专利权)人: | 三井金属矿业株式会社 |
主分类号: | G01F1/69 | 分类号: | G01F1/69;G01F1/692;G01F1/699;G01F1/68 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 陈伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种流量传感器,通过防止外部环境温度条件对测量精度的不良影响,提高测量精度,使得即使是粘度较高的粘性流体或微小流量,也可正确测定在配管内流动的流体的流量,而且易于组装;该流量传感器具有在基板上形成发热体和感温体的流量检测部,其特征在于:在上述基板形成凹部,封闭该凹部,设置气体层。 | ||
搜索关键词: | 流量传感器 | ||
【主权项】:
1.一种流量传感器,具有在基板上形成发热体和感温体的流量检测部,其特征在于:在上述基板形成凹部,封闭该凹部,设置气体层。
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