[发明专利]流量传感器无效

专利信息
申请号: 200510051724.X 申请日: 1998-11-19
公开(公告)号: CN1657881A 公开(公告)日: 2005-08-24
发明(设计)人: 山岸喜代志;川西利明;友成健二;井上真一;小池淳 申请(专利权)人: 三井金属矿业株式会社
主分类号: G01F1/69 分类号: G01F1/69;G01F1/692;G01F1/699;G01F1/68
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 陈伟
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种流量传感器,通过防止外部环境温度条件对测量精度的不良影响,提高测量精度,使得即使是粘度较高的粘性流体或微小流量,也可正确测定在配管内流动的流体的流量,而且易于组装;该流量传感器具有在基板上形成发热体和感温体的流量检测部,其特征在于:在上述基板形成凹部,封闭该凹部,设置气体层。
搜索关键词: 流量传感器
【主权项】:
1.一种流量传感器,具有在基板上形成发热体和感温体的流量检测部,其特征在于:在上述基板形成凹部,封闭该凹部,设置气体层。
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