[发明专利]显影液组成物无效
申请号: | 200510052183.2 | 申请日: | 2005-02-28 |
公开(公告)号: | CN1828429A | 公开(公告)日: | 2006-09-06 |
发明(设计)人: | 陈启盛;刘弘仁;郑孟勋 | 申请(专利权)人: | 明德国际仓储贸易(上海)有限公司 |
主分类号: | G03F7/32 | 分类号: | G03F7/32 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 周长兴 |
地址: | 200131上海市外高*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明有关于一种显影液组成物,其包括:(a)碱金属碳酸盐;(b)碱金属碳酸氢盐;(c) 右述式(I)所示非离子性界面活性剂,其中,k、n及m定义如说明书中所示;以及(d) 上述式(II)所示非离子性界面活性剂,其中,p、q定义如说明书中所示;其中相对100重量份水而言,上述(a)成分为0.1~10重量份,上述(b)成分为0.1~10重量份,上述(c)成分为0.1~20重量份,且上述(d)成分为0.1~20重量份者。本发明亦有关于显影液。 | ||
搜索关键词: | 显影液 组成 | ||
【主权项】:
1.一种显影液组成物,其包括:(a)0.1至10份重量的碱金属碳酸盐,该碱金属碳酸盐的份重量是以100份重量的水为基准计算;(b)0.1至10份重量的碱金属碳酸氢盐,该碱金属碳酸氢盐的份重量是以100份重量的水为基准计算;(c)0.1至20份重量的如下式(I)的非离子性界面活性剂
其中k是1至3的整数;n是0至10的整数;m是4至20的整数;该式(I)的非离子性界面活性剂的份重量,系以100份重量的水为基准计算;以及(d)0.1至20份重量的如下式(II)的非离子性界面活性剂
其中p是0至20的整数;q是4至20的整数;该式(II)的非离子性界面活性剂的份重量是以100份重量的水为基准计算。
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