[发明专利]带有改进脉冲功率系统的等离子聚集光源

摘要

一种高能量光子源。一对等离子箍缩电极(8)位于等离子箍缩单元(2)的真空室内。该真空室容纳含惰性缓冲气体和活性气体的工作气体，选择活性气体，以产生期望的谱线。脉冲功率源10提供电压足够高的电脉冲，以便在电极之间产生放电。该放电在工作气体中产生高温、高密度等离子箍缩，在该源的谱线提供辐射。这些电极在轴上与阳极同轴配置。通过中空阳极引入活性气体。这使得谱线源可优化，并且缓冲气体可独立优化。

主权项

1、一种高能量光子源，其特征在于，包含：A、真空室；B、至少2个电极，这些电极同轴装在所述真空室内，限定放电区，并且被安排成放电时在箍缩处产生高频等离子箍缩；C、工作气体，其中包含活性气体和缓冲气体，所述缓冲气体是惰性气体，并且选择所述活性气体，在至少一个谱线提供光；D、活性气体提供系统，用于对所述放电区提供活性气体；E、脉冲功率系统，包括充电电容器和磁压缩电路，所述磁压缩电路包括脉冲变压器，用于在至少一个峰值电容器组两端提供电压高到足以在所述形成等离子箍缩的至少一对电极之间产生放电的电脉冲；和F、所述至少一个峰值电容器组包括至少一个被优化成峰值电容电流与所述等离子箍缩同时发生的电容器组。