[发明专利]液晶显示器有效
| 申请号： | 200510052594.1 | 申请日： | 2001-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN1655040A | 公开（公告）日： | 2005-08-17 |
| 发明（设计）人： | 桶隆太郎;仲吉良彰;小野记久雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | G02F1/136 | 分类号： | G02F1/136;G02F1/133;H01L29/786;H01L21/027;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 陈景峻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种降低信号线的布线电阻率的液晶显示装置。液晶显示装置包括液晶插入其中的彼此相对设置的衬底、通过从栅区信号线提供的扫描信号驱动的薄膜晶体管和经薄膜晶体管从漏区信号线提供视频信号的像素电极，薄膜晶体管和像素设置在一个衬底的液晶侧表面上的每个像素区域中。栅区信号线由多层结构制成，该多层结构包括形成在液晶侧表面上的至少一个ITO膜和形成来叠加在ITO膜上的Mo层。 | ||
| 搜索关键词： | 液晶显示器 | ||
【主权项】：
1.一种液晶显示装置的制造方法，包括步骤：在衬底上形成栅区信号线，每一个栅区信号线由依次层叠透明导电膜和金属层构成的叠层结构制成；形成绝缘膜来覆盖栅区信号线；在绝缘膜上形成由依次层叠半导体层、高浓度层和导电层构成的叠层结构；通过使用半曝光方法对导电层和高浓度层执行选择蚀刻，用以形成薄膜晶体管的漏电极和源电极以及漏区信号线，并且用以执行半导体层的选择蚀刻；形成像素电极，每个电极部分直接叠加在对应薄膜晶体管的源电极上；和形成保护膜并在保护膜中开孔来暴露出各个像素电极。
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